100μm,铝线宽度约100μm">
手术室净化工程谈静电的危害。对于手术室净化工程来说,静电是可怕的,它有一定的危险。你知道它对手术室净化工程有什么危害吗?今天小编就给大家补一下这方面的知识。
1.静电库仑力。在静电库仑力下,吸附的粉尘.污垢导致部件泄漏或短路增加,损坏,成品率和可靠性大大降低。如粉尘粒径>100μm,铝线宽度约100μm,氧化膜厚度为50μm当时,产品很容易报废。现在线径细,氧化膜很薄,粒径小的灰尘颗粒会损坏部件,这种情况主要发生在腐蚀清洗中.光刻.在点焊和包装过程中。
2.静电放电ESD。(1)部件的边缘氧化膜被击穿,导线被烧断或线间熔断。如果人体带上10个。KV(100PF)静电荷,触摸器件脚时发生ESD,脉冲放电电流峰值可达200A(10~100s),不要说高密度,细线径,薄SiO2膜的Lsi.Vlsi,就是一般IC.MOS都会受损。
一般来说,器件边缘SiO2膜的耐压场强E=(5-10)×106V/cm,如果器件SiO2膜厚度取1000,其装置输入脚施加50V-100V上述静电压将被击穿,人体静电超过50V.100V是平常的。
(2)引起噪音.发射电磁波干扰。ESD引起EMI其电磁波前后峰较尖,信号较强,相当于电路中几伏的能量,频率跨越几伏MH2甚几百MH2的强噪声可能导致部件损坏,设备和传感器工作异常,甚至设备死机。ESD引起的EMI它还会导致错误信号的输入或锁定现象。例如,在无尘室中,晶圆片将被放置。EMIF盒子放在钢手推车上,晶圆片ESD它将通过电感传递给手推车。如果车轮是命中注定的,那么车轮就是命中注定的。EMI晶圆片处理的扩散会导致晶圆处理机死机。
(3)电击人体。人体的。ESD或对人体的ESD人体电击限电流5mA在上述情况下,人们会有各种各样的伤害感,作人员情绪不安,操作错误。
虽然半导体、平面显示器、光电子等洁净室做了很多工作,但洁净室的静电问题仍然影响生产和产品生产,影响制造成本和效率,影响产品的质量和可靠性。据国外工业估计,美国每年静电造成的产品平均损失为8-33%,有人估计美国每年静电对电子工业的损害价值为100亿美元;20世纪80年代,日本分析了报废的电子产品ESD造成的损失占1/3。中国半导体.平面液晶显示.光电等都起步较晚,但静电危害也时有发生,成品率较低。银行和银行。.证券公司.机要数据库.监控中心、电力调度室等调度室等,ESD很容易起干扰,数据丢失,情况严重。
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